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真空度測試儀操作說明

點(diǎn)擊次數(shù):2120 更新時(shí)間:2020-03-17
  • 真空度測試儀接線說明

讓滅孤室兩觸頭處于分開狀態(tài),然后繞上磁控電圈,再把磁控線圈的兩個(gè)插頭插到磁控電流輸出的兩個(gè)紅黑插頭上。另外,高壓線與離子線分別接在真空泡的兩個(gè)觸頭上(動(dòng)、觸頭不分)。

  • 按鍵說明

面板上所有的按鍵,若其上的小指示燈亮則表示按鍵有效,反之,則無效。若該鍵有效時(shí),再按該鍵,則指示燈滅,該鍵處于無效狀態(tài)。

  • 測試步驟方法
  • 開機(jī)

檢查接線正確后,方可開機(jī)。將儀器面板上的電源開關(guān)鍵按向“開”位置,數(shù)碼顯示屏的*即出現(xiàn)“P”字,經(jīng)校驗(yàn)(3.2步驟)正常后, 說明儀器運(yùn)行正常,預(yù)熱5分鐘后便可進(jìn)行測量.

  • 儀器檢查

執(zhí)行該功能,校驗(yàn)儀器及自檢功能。順序按【選擇鍵】、【校驗(yàn)鍵】、【測量鍵】,使其有效。使用上下鍵調(diào)節(jié)檢查參數(shù)(管型顯示處)

  • 選擇參數(shù)1~3采樣放大器檢查:

調(diào)至1時(shí),顯示值均0.000---9.000×10-6之間;

調(diào)至2時(shí),顯示值均0.000---9.000×10-5之間;

調(diào)至3時(shí),顯示值均0.000---9.000×10-4之間;

  • 選擇參數(shù)4充電控制檢查:

調(diào)至4時(shí),充電回路接通,終將電容電壓控制在350V。

  • 選擇參數(shù)5,顯示器檢查:

此時(shí),顯示器逐筆點(diǎn)亮,六位一致不多筆畫少筆畫。檢查完畢需按【復(fù)位鍵】。

選擇參數(shù)6,啟動(dòng)高壓:

這時(shí),高壓指示燈亮,高壓產(chǎn)生,顯示器后四位顯示高壓值,單位是萬伏。做該項(xiàng)檢查時(shí),注意高壓線位置,以免發(fā)生危險(xiǎn)。

  • 選擇參數(shù)7,內(nèi)部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器檢查:

   儀器內(nèi)計(jì)算機(jī)對內(nèi)部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器進(jìn)行嚴(yán)格檢查,顯示器顯示出正在接受檢查的單元的地址,若出錯(cuò),則計(jì)算機(jī)停止檢查,顯示器的值即是出錯(cuò)地址。單元編號以8000H9FFFH,當(dāng)接近9FFFH時(shí),按住上下鍵,則檢查結(jié)束時(shí),退出該項(xiàng)檢查,反之,則重復(fù)檢查。

  • 管型選擇
    • 測量時(shí),首先確認(rèn)真空泡管型。參照說明書內(nèi)附錄一或附錄二。將真空泡管型對
      應(yīng)的曲線號輸入儀器顯示窗口管型內(nèi)。
    • 若說明書中沒有標(biāo)明所測量的管型時(shí),可于現(xiàn)場量出真空泡直徑(外徑),尋找
      對應(yīng)的曲線號即可。應(yīng)注意的是測量時(shí)尺寸盡量相近,并且接線方式相同。
    •    使【選擇鍵】有效,然后用↑鍵↓鍵調(diào)整管型參數(shù),調(diào)出所需的曲線號(詳見第二章儀器介紹/性能特點(diǎn)/第三節(jié))
    • 如果沒有可代用的參數(shù),則可使【校驗(yàn)鍵】有效,這樣可直接給出電離電流,一

般來說,電離電流(A)較真空度(Pa)小兩個(gè)數(shù)量級左右。

  • 被測管型是10KV以上選用選擇開關(guān)高檔位,10KV以下選用選擇開關(guān)低檔位。

3.4 測量

  • 管型確定后,按下【選擇鍵】退出選擇,按下【測量鍵】。儀器便自動(dòng)完成所有

的測量、計(jì)算、顯示等全過程。若此時(shí)按下打印鍵,則打印測量結(jié)果。

  • 儀器內(nèi)計(jì)算機(jī)執(zhí)行測量步驟如下:

啟動(dòng)高壓→測漏電電流→關(guān)閉高壓→接通充電開關(guān)→電壓到規(guī)定值→啟動(dòng)磁控電流,測量漏電電流+電離電流,→扣除漏電電流→電流轉(zhuǎn)變成真空度值→顯示。若【校驗(yàn)鍵】有效,則顯示電流值

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